Photolithografie
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Photolithografie — Die Photolithographie bzw. Fotolithografie ist ein lithografisches Reproduktionsverfahren, bei dem mittels Belichtung Muster auf Materialien aufgebracht werden. Sie ist in der Drucktechnik und der Halbleitertechnik von Bedeutung.… … Deutsch Wikipedia
Reticle — Stepper (links:MA 6) und Mask Aligner (rechts: MJB3) unter photochemisch unwirksamer Belichtung („Gelblicht“) Ein Stepper ist in der Halbleiterindustrie Anlage zur Belichtung und Strukturierung eine Fotolacks bei der Fotolithografie. Der Stepper… … Deutsch Wikipedia
RIE — Plasma unterstütztes Ätzen ( physikalisch chemisches Ätzen) bezeichnet eine Gruppe von subtraktiven (abtragenden) Mikrostrukturverfahren in der Halbleitertechnologie. Als Trockenätzverfahren stellen eine alternative Strukturierungverfahren zu dem … Deutsch Wikipedia
Reaktives Ionenätzen — Plasma unterstütztes Ätzen ( physikalisch chemisches Ätzen) bezeichnet eine Gruppe von subtraktiven (abtragenden) Mikrostrukturverfahren in der Halbleitertechnologie. Als Trockenätzverfahren stellen eine alternative Strukturierungverfahren zu dem … Deutsch Wikipedia
Fotolithografie — Fo|to|li|tho|gra|fie, auch Photolithografie die; , ...ien: 1. (ohne Plur.) Verfahren zur Herstellung einer Druckform für den Stein , Offset , Zink od. Aluminiumdruck durch Übertragen einer Fotografie auf das Material der Druckform. 2. einzelnes… … Das große Fremdwörterbuch
