- Planarprozess
- Pla|nar|pro|zessder; -es, -e: Technik zur Herstellung von Halbleiterbauelementen, bei der alle Bauelemente u. Verbindungsleitungen in einer Ebene angeordnet sind.
Das große Fremdwörterbuch. 2013.
Planarprozess
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LOCOS-Prozess — LOCOS, kurz für englisch Local Oxidation of Silicon (dt. »lokale Oxidation von Silicium«, ist in der Halbleitertechnik ein Verfahren zur elektrischen Isolation von Bauelementen (meist Transistoren). Dafür wird der Silicium Wafer an… … Deutsch Wikipedia
Planartechnik — Die Planartechnik (auch Planarprozess) ist ein in der Halbleiterfertigung benutzter Prozess zur Herstellung von Transistoren und Integrierten Schaltungen. Der Prozess wurde von Jean Hoerni bei Fairchild Semiconductor entwickelt und… … Deutsch Wikipedia
Jean Hoerni — Jean Amédée Hoerni (* 26. September 1924 in Genf; † 12. Januar 1997) war ein Physiker und Mathematiker. Als Mitarbeiter von William B. Shockley und Mitglied der Traitorous Eight war er in den 1960er Jahren einer der Pioniere der Mikroelektronik.… … Deutsch Wikipedia
Thermische Oxidation von Silizium — Die thermische Oxidation von Silizium ist in der Halbleitertechnik ein Beschichtungsverfahren, bei dem auf einem einkristallinen Siliziumsubstrat (beispielsweise einem Silizium Wafer) eine dünne Schicht aus amorphen Siliziumdioxid aufgebracht… … Deutsch Wikipedia
