Kathodenzerstäubung

Kathodenzerstäubung
Ka|tho|den|zer|stäu|bung,
fachspr. auch Katodenzerstäubung die; -, -en: Bildung feinster Metallschichten auf der ↑Anode durch Zerstäuben des Kathodenmaterials im Hochvakuum.

Das große Fremdwörterbuch. 2013.

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  • Kathodenzerstäubung — Sputtern * * * Ka|tho|den|zer|stäu|bung 〈f. 20〉 = Katodenzerstäubung * * * Kathodenzerstäubung,   das Herausschlagen von Atomen aus der Metallkathode durch die aufprallenden Ionen einer Gasentladung. Da sich die herausgeschlagenen Atome auf nahen …   Universal-Lexikon

  • Kathodenzerstäubung — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… …   Deutsch Wikipedia

  • Kathodenzerstäubung — Ka|tho|den|zer|stäu|bung 〈f.; Gen.: , Pl.: en; El.〉 Form der Materialbearbeitung, bei der ein Material durch Hochspannung an einer Kathode zerstäubt wird u. in feinen Schichten auf einem als Anode geschalteten Material niedergeschlagen wird; oV …   Lexikalische Deutsches Wörterbuch

  • Sputtern — Kathodenzerstäubung * * * sput|tern 〈[spʌ̣t ] V. tr.; hat; Tech.〉 Oberflächenmaterial eines Festkörpers durch Ionenbestrahlung zerstäuben, abspalten [zu engl. sputter; eigtl. „zischen, brutzeln“] * * * Sputtern   [ spʌtərn; englisch, eigentlich… …   Universal-Lexikon

  • Plasma-unterstütztes Ätzen — (physikalisch chemisches Ätzen) bezeichnet eine Gruppe von subtraktiven (abtragenden) Mikrostrukturverfahren in der Halbleitertechnologie. Als Trockenätzverfahren stellen sie alternative Strukturierungsverfahren zum sog. Nassätzen (nasschemischen …   Deutsch Wikipedia

  • Getterpumpe — Die Ionengetterpumpe, auch Ionenzerstäuberpumpe genannt, ist eine Sonderform der Sorptionspumpe, bei der die Restgaspartikel (Atome oder Moleküle) durch Elektronenstoß ionisiert werden und durch ein elektrisches Feld auf eine Oberfläche… …   Deutsch Wikipedia

  • Ionenstrahlsputtern — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… …   Deutsch Wikipedia

  • Magnetronsputtern — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… …   Deutsch Wikipedia

  • Magnetronzerstäubung — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… …   Deutsch Wikipedia

  • Sputter — Das Sputtern (aus dem englischen to sputter = zerstäuben) – oder auf deutsch, die Kathodenzerstäubung – ist ein physikalischer Vorgang, bei dem Atome aus einem Festkörper (Target) durch Beschuss mit energiereichen Ionen (vorwiegend Edelgasionen)… …   Deutsch Wikipedia

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